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Kaiyun体育网站:杰宜斯申请半导体制造装置及其控制方法专利能控制半导体制造装置
栏目:公司动态 发布时间:2025-02-18
  金融界2025年1月18日消息,国家知识产权局信息显示,杰宜斯科技有限公司申请一项名为“半导体制造装置及其控制方法”的专利,公开号 CN 11931

  金融界2025年1月18日消息,国家知识产权局信息显示,杰宜斯科技有限公司申请一项名为“半导体制造装置及其控制方法”的专利,公开号 CN 119314902 A,申请日期为2024年7月。

  专利摘要显示,本发明多个实施例涉及半导体制造装置,该半导体制造装置可包括:多个杯部,用于回收工序期间喷射的化学物质;马达驱动模块,用于驱动马达以调节所述杯部的上下位置;多个压力阀,用于驱动气缸以调节所述杯部的上下位置;以及处理器,用于控制所述马达驱动模块及所述压力阀。

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