金融界2025年1月18日消息,国家知识产权局信息显示,杰宜斯科技有限公司申请一项名为“半导体制造装置及其控制方法”的专利,公开号 CN 119314902 A,申请日期为2024年7月。
专利摘要显示,本发明多个实施例涉及半导体制造装置,该半导体制造装置可包括:多个杯部,用于回收工序期间喷射的化学物质;马达驱动模块,用于驱动马达以调节所述杯部的上下位置;多个压力阀,用于驱动气缸以调节所述杯部的上下位置;以及处理器,用于控制所述马达驱动模块及所述压力阀。
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